封裝光刻機是一種用于芯片封裝工藝的高精度曝光設(shè)備，主要任務(wù)是在晶圓或封裝基板上把掩模上的電路圖形精確地轉(zhuǎn)移到光刻膠上。它常用于晶圓級封裝（WLP）、扇出封裝（FOWLP）、凸點（Bump）制作等環(huán)節(jié)，是先進封裝生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。

一、基本原理

封裝光刻的原理和半導(dǎo)體前道光刻類似，都是“掩模+光照+顯影”形成圖形。整個過程包括：

涂膠：

在晶圓或封裝基板表面均勻涂上一層感光光刻膠。封裝層通常較厚，因此光刻膠也更厚（幾十微米）。

對準：

光刻機通過高精度視覺系統(tǒng)識別基板上的對準標記，將掩模圖案和已有電路精確重合。封裝工藝多為多層結(jié)構(gòu)，對準精度需控制在1微米左右。

曝光：

光源照射掩模，掩模上透明部分讓光通過，在光刻膠上形成潛影。常見的曝光方式有兩種：

接觸或近接曝光：掩模與基板表面接觸或接近，直接曝光。

投影曝光：通過透鏡系統(tǒng)縮小投影，分區(qū)域逐步掃描。

顯影：

曝光后將樣品浸入顯影液中，曝光區(qū)域的光刻膠被溶解或保留下來，從而形成圖形。

后處理：

這些圖形可用于電鍍、蝕刻或沉積金屬，形成封裝中的再布線層或焊點結(jié)構(gòu)。

二、主要組成

光源系統(tǒng)：

使用紫外光（常見為365nm或405nm），要求光照強度均勻、穩(wěn)定。

掩模臺與基板臺：

精密機械平臺，可在X、Y、Z方向微調(diào)，實現(xiàn)納米級位置控制。

對準系統(tǒng)：

利用雙攝像頭識別掩模與基板標記，通過算法自動計算并修正位置誤差。

曝光控制系統(tǒng)：

精確控制光強、曝光時間與運動速度，保證光刻膠反應(yīng)一致。

傳片與軟件系統(tǒng)：

自動上下片、識別、記錄工藝參數(shù)，實現(xiàn)自動化批量生產(chǎn)。

三、技術(shù)特點

高對準精度：

一般達到±1微米，頂級設(shè)備可達±0.5微米。

大面積曝光：

能處理300mm晶圓或更大封裝基板。

景深大：

能在表面不平整的封裝層上保持清晰成像。

熱補償技術(shù)：

設(shè)備自動檢測溫度變化，實時修正熱脹冷縮造成的偏差。

工藝適應(yīng)性強：

適合厚膜光刻膠、干膜及聚酰亞胺等材料。

四、工作流程

光刻膠旋涂 → 預(yù)烘 → 裝片

對準 → 曝光 → 顯影

檢查 → 烘干 → 電鍍或蝕刻

整個過程都在潔凈室中進行，以防灰塵影響成像質(zhì)量。

五、與晶圓光刻機的區(qū)別

封裝光刻機用于半導(dǎo)體后工序，晶圓光刻機用于前工序。

前道光刻機追求極高分辨率（納米級），而封裝光刻機更關(guān)注大面積、厚膜、精確對準。

封裝光刻機對光學分辨率要求稍低，但機械精度、熱穩(wěn)定性要求更高。

六、主要應(yīng)用

封裝光刻機廣泛用于：

再布線層（RDL）制作

晶圓級封裝（WLCSP）

扇出封裝（FOWLP）

倒裝芯片焊點（Flip-Chip Bump）形成

常見設(shè)備品牌包括日本Ushio、EVG、SUSS MicroTec，以及國內(nèi)的華卓精科、中微公司、芯源微等。

七、總結(jié)

封裝光刻機通過高精度光學投影、自動對準和穩(wěn)定曝光，將電路圖案精確復(fù)制到封裝材料上，是先進封裝技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。