光刻機(jī)（Lithography Machine）是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備，用于將電路圖形轉(zhuǎn)移到硅片（wafer）上。它結(jié)合了光學(xué)、機(jī)械、材料和控制技術(shù)，被譽(yù)為“工業(yè)皇冠上的明珠”。
一、荷蘭 ASML —— 全球光刻機(jī)巨頭
公司背景
總部位于荷蘭，成立于 1984 年，是全球光刻機(jī)市場(chǎng)的絕對(duì)領(lǐng)導(dǎo)者。
占據(jù)全球市場(chǎng)份額 80% 以上，尤其在高端光刻機(jī)領(lǐng)域幾乎沒(méi)有競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。
核心技術(shù)與產(chǎn)品
DUV 光刻機(jī)：ArF 浸沒(méi)式光刻機(jī)（193 nm 光源），適用于 7 nm 及以上制程。
EUV 光刻機(jī)：極紫外光刻機(jī)（13.5 nm 光源），是目前唯一能夠大規(guī)模量產(chǎn) 5 nm、3 nm 先進(jìn)制程的設(shè)備。
代表機(jī)型：TWINSCAN NXT 系列（DUV）、NXE 系列（EUV）。
市場(chǎng)地位
臺(tái)積電（TSMC）、三星（Samsung）、英特爾（Intel）等先進(jìn)晶圓廠均依賴(lài) ASML 的 EUV 設(shè)備。
其光刻機(jī)售價(jià)極高，一臺(tái) EUV 光刻機(jī)價(jià)格超過(guò) 1.5 億美元。
二、日本品牌 —— 傳統(tǒng)勁旅
日本曾在光刻機(jī)市場(chǎng)上長(zhǎng)期占據(jù)領(lǐng)先地位，尤其在 20 世紀(jì) 80–90 年代。雖然在 EUV 時(shí)代被 ASML 超越，但在中低端市場(chǎng)仍有重要影響力。
Nikon（尼康）
優(yōu)勢(shì)：
以步進(jìn)式光刻機(jī)（Stepper）和投影式光刻機(jī)起家，技術(shù)積累深厚。
在 90 年代曾是全球光刻機(jī)市場(chǎng)第一。
現(xiàn)狀：
目前主要生產(chǎn) KrF（248 nm）、ArF（193 nm）等 DUV 光刻機(jī)。
在面板光刻、MEMS 制造、功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域仍有市場(chǎng)。
局限：在 EUV 技術(shù)路線落后，逐漸退出先進(jìn)邏輯芯片制造市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)。
Canon（佳能）
優(yōu)勢(shì)：
以接觸式和投影式光刻機(jī)起步，擅長(zhǎng)中小尺寸晶圓和專(zhuān)用工藝。
在光學(xué)設(shè)計(jì)和影像技術(shù)方面有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。
現(xiàn)狀：
主力產(chǎn)品為 i-line（365 nm）、KrF 光刻機(jī)，應(yīng)用在封裝、LED、MEMS 等領(lǐng)域。
局限：缺乏先進(jìn)制程能力，定位偏向中低端市場(chǎng)。
三、其他地區(qū)品牌
美國(guó)
曾經(jīng)有 GCA、Perkin-Elmer 等公司，但在 90 年代逐漸退出。
目前美國(guó)企業(yè)更多在光刻機(jī)關(guān)鍵零部件領(lǐng)域發(fā)揮作用，如 Cymer（光源）、KLA（檢測(cè)）等。
韓國(guó)
三星、SK 海力士雖為光刻機(jī)主要用戶(hù)，但并未形成整機(jī)品牌，主要集中在材料和零部件供應(yīng)。
歐洲其他國(guó)家
除 ASML 外，部分企業(yè)參與光刻機(jī)關(guān)鍵零部件，如德國(guó)蔡司（Carl Zeiss，提供光學(xué)系統(tǒng)），是 ASML 的重要合作伙伴。
四、品牌格局與競(jìng)爭(zhēng)趨勢(shì)
ASML 一家獨(dú)大
在 EUV 時(shí)代，ASML 是唯一能量產(chǎn)的供應(yīng)商，形成事實(shí)壟斷。
日本品牌穩(wěn)守特定市場(chǎng)
Nikon 和 Canon 在先進(jìn)制程缺位，但在封裝、功率半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域仍有強(qiáng)大生命力。
合作與依賴(lài)
光刻機(jī)是全球化產(chǎn)業(yè)鏈的產(chǎn)物：ASML 需要美國(guó)光源、德國(guó)光學(xué)、日本材料的支持。
未來(lái)發(fā)展可能會(huì)受?chē)?guó)際貿(mào)易與技術(shù)管制的影響。
五、總結(jié)
光刻機(jī)品牌格局可以概括為：
ASML —— 高端市場(chǎng)的絕對(duì)霸主，獨(dú)占 EUV 光刻機(jī)。
Nikon、Canon —— 日本雙雄，在中低端及特定工藝市場(chǎng)占有一席之地。
其他企業(yè) —— 更多集中在零部件供應(yīng)和歷史遺留品牌。
